主要性能指標(biāo)

1：主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

2：內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕的超高分子材料（HDPE）

3：旋涂程序：*多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可**到0.1秒

4：旋涂速度：0-10000rpm

5：旋涂加速度：0-50000rpm/s

6：馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：＜±1rpm（CY-AC200-SE)；＜±0.1rpm（CY-AC200-PE)

7：轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性：1rpm（CY-AC200-SE);0.1rpm（CY-AC200-PE)

8：CY-AC200-PE另帶真空數(shù)字顯示、開(kāi)關(guān)壓力調(diào)節(jié)和電子水平顯示功能

9：工藝時(shí)間設(shè)定：0-3000sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圓晶）

11：旋涂作業(yè)均勻性：＜±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米測(cè)量）

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)

1：*新的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸

2:采用7英寸觸摸屏控制面板，操作更加便捷

3：采用“密閉碗”設(shè)計(jì)，可以適應(yīng)各種材料的勻膠工藝。

4：標(biāo)準(zhǔn)配置的轉(zhuǎn)速為10000rpm，可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制

5：采用工業(yè)級(jí)的伺服電機(jī)，電機(jī)獨(dú)特的設(shè)計(jì)可以避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部

6：機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

7：排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)的底部，利于排風(fēng)效率和勻膠的均一性

8：透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。