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- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機(jī)
- 涂布機(jī)
- 等離子清洗機(jī)
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- 電子束，激光鍍膜儀
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- 箱式氣氛爐
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- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質(zhì)量流量計
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- 混料機(jī)設(shè)備
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- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環(huán)境模擬試驗設(shè)備
- 實(shí)驗室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱
單靶等離子濺射鍍膜儀（標(biāo)準(zhǔn)型）
產(chǎn)品型號
CY-PLZ180-I-DC-Q
樣 品臺
尺寸
100mm
旋轉(zhuǎn)速度
1~20rpm可調(diào)
等離子濺射靶
數(shù)量
2英寸x1
冷卻方式
自然冷卻
真空腔體
腔體尺寸
φ180mm X 150mm
觀察窗口
全向可視
腔體材料
高純石英
開啟方式
頂蓋拆卸式
上下蓋材質(zhì)
304不銹鋼
抽氣接口
KF25
進(jìn)氣接口
1/4英寸卡套接頭
電源配置
數(shù)量
直流電源x1
輸出功率
*大150W
濺射電源
3000V
*大濺射電流
50mA
真空系統(tǒng)
真空泵類型
雙極旋片真空泵
抽氣接口
KF25
排氣接口
KF16
抽氣速率
1.1L/s（4m3/h）
極限真空度
≥0.1Pa
真空測量
電阻真空規(guī)
其他
供電電源
AC 220V 50Hz
整機(jī)功率
1.5kW
整機(jī)尺寸
570mm X 450mm X450mm
整機(jī)重量
30kg
